磁悬浮转子微陀螺的电容检测系统分析和实现
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篇1：磁悬浮转子微陀螺的电容检测系统分析和实现
磁悬浮转子微陀螺的电容检测系统分析和实现
介绍了一种新型磁悬浮转子微陀螺的电容检测方案,其特点是检测定子上径向分布的.电容极板和悬浮转子形成差动电容的变化.检测电路为基于相关检测原理的交流电容电桥的方法.电路实现中采用积分电荷放大器作为前置级,对其输出和噪声进行了深入的分析.之后,前置级的输出信号经过低噪声放大器进行放大,再通过带通滤波以及相关解调等电路实现检测系统需要的输出幅值和信噪比.实验证明,实现的检测系统对角度输入有较好的线性响应,角度分辨率达到0.1°,即可检测到的电容变化约为1fF.
作 者：刘武 黄晓刚 邵诗逸 陈文元 张卫平LIU Wu HUANG Xiao-gang SHAO Shi-yi CHEN Wen-yuan ZHANG Wei-ping 作者单位：上海交通大学微纳科学技术研究院薄模与微细加工教育部重点实验室微纳米加工国防实验室,上海,30 刊 名：测控技术 ISTIC PKU英文刊名：MEASUREMENT & CONTROL TECHNOLOGY 年，卷(期)： 25(1) 分类号：V241.5 TP212.1 关键词：电容检测 相关解调 磁悬浮 微陀螺 微电子机械系统篇2：磁悬浮转子微陀螺旋转驱动方式研究
磁悬浮转子微陀螺旋转驱动方式研究
介绍了基于MEMS技术的磁悬浮转子微陀螺的旋转原理,进行了针对旋转力矩的仿真;在此基础上,给出了相应实现方案的`指标分析和系统设计.经过实际测试,旋转驱动后,微陀螺可以得到均匀快速的旋转效果,为下一步陀螺效应的研究打下了基础.
作 者：邵诗逸 黄晓刚 刘武 陈文元 SHAO Shi-yi HUANG Xiao-gang LIU Wu CHEN Wen-yuan 作者单位：上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细加工教育部重点实验室,微纳米加工国防实验室,上海,200030 刊 名：微电子学 ISTIC PKU英文刊名：MICROELECTRONICS 年，卷(期)：2006 36(1) 分类号：V241.5 关键词：磁悬浮转子 微陀螺 文氏桥 移相 正交驱动篇3：静电悬浮转子微陀螺微位移信号检测系统的设计
静电悬浮转子微陀螺微位移信号检测系统的设计
为实现对悬浮转子微陀螺转子五自由度的测量,提出了一种频分复用的微位移检测原理,主要介绍了多频率信号发生器,前置放大器,锁橱放大器组成的测试系统,设计了一种基于DDS技术的多频率信号发生器和基于锁相放大原理的`解调电路.实验和分析结果表明,该电路能实现多自由度微位移检测,设计的多频率信号发生器的频率分辨率能达到0.005821Hz,相位分辨率可以达到0.006rad,检测轴向灵敏度为1.34V/μm,检测径向灵敏度为0.092V/μm,测量电路的轴向位移分辨率为0.45nm,径向位移分辨率为6.6nm,转角的分辨率为0.25μrad,位移检测电路的分辨率,灵敏度和测量范围能够满足静电悬浮转子微陀螺的控制需要.
作 者：肖奇军 陈文元 崔峰 李胜勇 黄晓刚 邵 作者单位：肖奇军(上海交通大学微纳科学技术研究院,上海,2000130;广东肇庆学院电子信息工程系,广东肇庆,526061)陈文元,崔峰,李胜勇,黄晓刚,邵(上海交通大学微纳科学技术研究院,上海,2000130)
刊 名：机电工程技术 英文刊名：MECHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING TECHNOLOGY 年，卷(期)：2009 38(5) 分类号：U666.1 关键词：微陀螺 微位移检测 信号发生器 锁相放大器【磁悬浮转子微陀螺的电容检测系统分析和实现】相关文章：
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